今年全國兩會期間,集成電路被明確列為新興支柱產(chǎn)業(yè)之首,并提出實(shí)施產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新工程、開放應(yīng)用場景、加強(qiáng)關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)等一系列部署。隨著國家持續(xù)加大對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的支持力度,超純水作為芯片制造關(guān)鍵配套產(chǎn)業(yè),其發(fā)展不斷提速。作為聚焦于芯片制造等電子核心產(chǎn)業(yè)的超純水系統(tǒng)供應(yīng)商,高頻科技以先進(jìn)的超純工藝水平及專業(yè)的技術(shù)服務(wù)能力,為半導(dǎo)體企業(yè)發(fā)展提供水質(zhì)保障,賦能高端制造。
超純水質(zhì)精準(zhǔn)把控,適配高端制造核心需求
在芯片制造的數(shù)百道工序中,超純水作為貫穿全程的清洗介質(zhì),其純度直接影響芯片的良率和性能。隨著制程工藝日益先進(jìn),對超純水中微量雜質(zhì)的控制要求已從ppb級(十億分之一)提升至ppt級(萬億分之一),技術(shù)壁壘極高。
作為國家高新技術(shù)企業(yè),高頻科技深耕半導(dǎo)體高端制造行業(yè)超純水領(lǐng)域二十余年,憑借技術(shù)持續(xù)精進(jìn)實(shí)現(xiàn)突破,其超純水系統(tǒng)制備的超純水純度達(dá)到ppt級別,精準(zhǔn)滿足各類半導(dǎo)體產(chǎn)線的嚴(yán)苛需求。
高頻科技不僅是國內(nèi)最早從事芯片領(lǐng)域超純水系統(tǒng)業(yè)務(wù)的企業(yè)之一,亦是國內(nèi)具備12英寸14nm芯片產(chǎn)線超純水制備能力的系統(tǒng)供應(yīng)商。其超純水系統(tǒng)集成了預(yù)處理、初級處理、拋光等18項(xiàng)以上專業(yè)專利處理工藝環(huán)節(jié),并通過8次增壓提升和24小時不間斷循環(huán)配送,確保水質(zhì)穩(wěn)定、水量充足。目前,該超純水系統(tǒng)已廣泛適用于國內(nèi)知名芯片制造企業(yè),為關(guān)鍵產(chǎn)線的穩(wěn)定投產(chǎn)、產(chǎn)品良率和性能的提升提供了可靠保障,收獲行業(yè)認(rèn)可。
廢水處理與回用系統(tǒng):助力資源節(jié)約與可持續(xù)發(fā)展
在雙碳目標(biāo)引領(lǐng)下,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綠色轉(zhuǎn)型勢在必行。高頻科技構(gòu)建了全流程廢水處理與回用體系,針對半導(dǎo)體制造過程中產(chǎn)生的酸堿廢水、含氟廢水、研磨廢水、含銅廢水等各類廢水,其電子級廢水處理技術(shù)能夠根據(jù)雜質(zhì)特性,采用針對性的工藝高效、經(jīng)濟(jì)地完成處理,助力半導(dǎo)體工廠提升綠色廠務(wù)水平。
同時,高頻科技依托前瞻性設(shè)計(jì)能力打造回用水系統(tǒng),能夠?qū)χ瞥虣C(jī)臺產(chǎn)生的30多道廢水進(jìn)行合理的分流、回用,項(xiàng)目水平衡可實(shí)現(xiàn)整廠用水的制備回收率高達(dá)90%,幫助客戶有效降低水資源消耗和運(yùn)營成本,實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展。
從技術(shù)突破到產(chǎn)業(yè)賦能,高頻科技以超純工藝為核心,持續(xù)為半導(dǎo)體高端制造提供穩(wěn)定高效的水處理解決方案。隨著本土超純水工藝研發(fā)及應(yīng)用能力的提升,水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)與資源效率正不斷邁向新高度,為我國集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。





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